VSCode側の不具合のようなので、
以下を参考にしてみてはいかがでしょうか。
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作成したdioファイルがVScode内で表示されなくなった。
いつの間にか表示されなくなっていて、
画面右下にこのようなエラーが表示されるようになりました。
Web ビューの読み込みエラー: Error: Could not register service workers:
InvalidStateError: Failed to register a ServiceWorker:
The document is in an invalid state..
Draw.io Integration の再インストール
MacBook 再起動
VSCode側の不具合のようなので、
以下を参考にしてみてはいかがでしょうか。