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shimiii
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熱電対からの出力に乗るノイズについて

解決したいこと

ここに解決したい内容を記載してください。
シースなどの先端保護のない裸の熱電対で温度測定をしています.熱電対で測定したで増幅しマイコンで記録するといった簡単なものです.そこで,動作テストの為,シリコンウエハに熱電対の先端を接させ,温度測定をしました.しかしながら,センサがノイズを拾ってしまいす.シリコンウエハではなく,ガラスの板を加熱して温度計測を行うと,ノイズは拾いません.また,シリコンウエハにカプトンテープを張り,その上の温度を計測する時もノイズを拾いません.熱電対先端とシリコンウエハの間に電気的な影響があるのでしょうか.ただ,シリコンは自由電子が無いのでほぼ電気が流れないと理解しています.どなか,ノイズの原因分かる方いらっしゃらないでしょうか.よろしくお願いします.
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1Answer

電熱対の起電力が温度差一度Kあたりマイクロボルト程度なのでバンドギャップ(1.1eV)を超えた電子がいたずらをしているのかもしれません。
ただ接合部の状態や空気層の有無などがわからないとなんとも言えません。

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Comments

  1. @shimiii

    Questioner
    ご返信ありがとうございます.
    バンドギャップの影響を調査することにしました.
    助かりました^^

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