Power Automateで5,000件以上のファイルを作成したい

Power Automateにお詳しい方、ご意見をください。

sharepointドキュメントライブラリ内に大量にファイルを作成するフローを作っています。
10000件作成をしたいのですが、5000件の手前でフローが止まってしまいます。
格納先をOnedriveに変更した結果も同じでした。

この原因・対処法に関して分かる方いらっしゃいましたら、ご教示いただきたいです。