今回はlayouteditorで重要となるCellについて紹介し、
Cellの配置まで行ってみる。
layouteditorでは複数のcellを用意して、様々な図形を別々に管理できる。これにより、マスクを設計する際に1カ所に全てを作り込む必要が無く、マスクのアライメントマークや微細なパターンをそれぞれ別々に管理することができる。
それではまず、Cellを実際に作ってみよう
画面上のDisplayed cellを右クリックし→New Cellをクリック→
no name 1というCellが作成された。
Cellの名前を変更することもできる
ドロップボックスから変更したい名前のCellを選択→右クリック→Cell name...→名前を打ち込む
それでは次にCellの配置をやってみよう。
準備として先ほど作成したno name 1という名前のCellに位置（0.0）半径200umの円を描き、
no nameというCellに１辺の長さが10umの正方形を描く。
この時、それぞれの図形のlayerを分けておくと配置後に分かりやすい。
準備が整ったのでCellの配置を行ってみる。
no name1のCellでキーボードのaを押すと次の様な画面が出る。
その中からno nameを選択→repeatのｘとｙをそれぞれ10に変更→OKを押す→マウスを適当にドラッグすると10×10の図形が配置された。
Cellの配置を用いることで、他のCellに含まれる図形を複数配置することができる。これはマスクの作成において非常に強力で、微細なパターンを別のCellで準備しておいて、本番のCellに配置することが可能となる。更に強力な点は、配置されたCellは常に元のCellを参照しているため、元のCellに変更を加えれば配置したCellすべてが変更されることである。
ここまでCellについて紹介してきたが、注意すべき点がある。それは、Cellではbooleanを用いることができないということだ。そこで配置したCellに対してBooleanを用いる際にはCell Flatをかましてやる必要がある。Cell上で右クリックをすると、Cell Flatが表示される。これをクリックするとCellrefallay>Cellref>図形というように変換されていく。図形まで変換できればBooleanを用いることができるというわけだ。
今回はここまで！そろそろlayouteditorのマクロについて勉強を始めてみようかと思っております。
それではまた～