Step.1 Ubuntuのイメージをダウンロード

下記のリンク先から64-bitイメージをDownloadしてください。
https://ubuntu.com/download/raspberry-pi

Raspberry Pi ImagerにもUbuntuがありますが、なぜかWiFiの設定を記述するnetwork-configが生成されません。
なので、モニターなしでセットアップするにはイメージをダウンロードしてきて、MicroSDに書き込む必要があります。

Step.2 MicroSD cardにイメージを書き込む

なんでもいいのですが、Raspberry Pi FoundationからリリースされているRaspberry Pi Imagerが使いやすいです。
ここからダウンロードできます。
https://www.raspberrypi.org/software/

必要な操作は以下の通りです。

Raspberry Pi Imagerを起動
Operating System --> Use Custom
Storage --> Select your microSD card
WRITEをクリック

Step.3 networks settings

sshでの接続のためにMicroSDの中にあるnetwork-configファイルを下記のように変更します。
MY_WIFI and MY_PASSWORDをご自分のWiFi情報に変更してください。

version: 2
ethernets:
  eth0:
    dhcp4: true
    optional: true
wifis:
  wlan0:
    dhcp4: true
    optional: true
    access-points:
      "MY_WIFI":
        password: "MY_PASSWORD"

Step.4 Check user-data

MicroSDカード内の user-data を開いて、sshの箇所を確認してください。

# On first boot, set the (default) ubuntu user's password to "ubuntu" and 
# expire user passwords
chpasswd:
  expire: true
  list:
  - ubuntu:ubuntu

# Enable password authentication with the SSH daemon
ssh_pwauth: true

##　Step.5 ubuntuにsshでアクセス
アクセスするために、Raspberry Piのipを確認する必要があります。

macを利用されている場合はarp-scanが簡単です。

# install arp-scan via homebrew
$ brew install arp-scan

# scan localnet
$ sudo arp-scan --localnet

Raspberry Piと表示されるので、そのIPアドレスを利用して下さい。

$ ssh ubuntu@raspberrypi_ip_address
# password is ubuntu