昔やったときは上手く行かなかったですが、もう一度やってみたらsystemd-networkdをDHCPサーバーに出来たので設定を紹介します。systemd 247で動作確認しました。
/etc/systemd/network/wlan0.network
[Match]
Name=wlan0
[Network]
# 自分がDHCPサーバーなのでアドレスは自分で設定する
Address=192.168.2.1/24
# DHCPクライアントにはならない
DHCP=no
# DHCPサーバーになる
DHCPServer=yes
[DHCPServer]
EmitDNS=yes
DNS=1.1.1.1
EmitRouter=yes
上記は無線LANの設定ですが、以下の仮定を置いています：
* 無線LANを他のアクセスポイントに繋ぐか、自分がアクセスポイントになる設定は例えばiwdなどで行われている。systemd-networkd 自体は無線を扱えないので、iwd, wpasupplicant, hostapdなどに無線の設定をやらせる必要があります。
* インターネットに繋ぐためのデフォルトルートはどこか他のインターフェース（例えばeth0）で行われている