静電容量センサーの高感度と高精度の独自の特性は、その正しい設計、正しい材料の選択、および微細な処理技術と切り離せません。センサーを設計する過程で、必要な範囲、温度、圧力の範囲内で、低コスト、高精度、高解像度、安定性と信頼性、良好な周波数応答などを実現するようにしてください。理想的なレベル。したがって、妥協案がよく使用されます。静電容量センサーの場合、その特性を開発し、その欠点を克服するために、次の側面を設計で考慮することができます。
周囲温度や湿度などの変化による誤差を減らし、断熱材の断熱性能を確保します。温度変化により、センサー内の各部品の幾何学的サイズと相互位置、およびある媒体の誘電率が変化し、それによって静電容量センサーの静電容量が変化し、温度誤差が発生します。湿度は、一部のメディアの誘電率と絶縁抵抗値にも影響します。したがって、温度などの誤差を低減し、材料の選択、構造、加工技術などの観点から、絶縁材料が高い絶縁性能を発揮するようにする必要があります。
静電容量センサーの金属電極の材質は、低温系の鉄ニッケル合金が好ましいが、加工が難しい。セラミックまたは石英に合金または銀をスパッタリングするプロセスも使用できるため、電極を非常に薄くすることができ、エッジ効果を低減するのに非常に有益です。
センサー内部の電極面は頻繁に清掃するのが不便ですので、ほこりや湿気を防ぐために密閉する必要があります。電極の表面に不活性金属（ロジウムなど）の非常に薄い層をめっきすると、シールに取って代わり、保護の役割を果たし、ほこり、温度、湿気、腐食を防ぎ、還元することができます。表面損失と温度係数の低下がありますが、コストは高くなります。
センサーでは、電極ホルダーは一定の機械的強度に加えて安定した性能を備えている必要があります。そのため、ブラケットには、温度係数が小さく、幾何学的なサイズ、安定性が高く、絶縁性が高く、吸湿性が低く、表面抵抗が高い材料が選択されています。たとえば、石英、雲母、宝石、およびさまざまなセラミックを使用できます。それらは処理がより困難ですが、それらの性能はプラスチックやプレキシガラスなどの材料よりもはるかに優れています。温度が高すぎない環境では、PTFEは優れた絶縁特性を備えています。これは選択時にも考慮することができます。
静電容量センサーの誘電体として、空気または雲母、および誘電体定数の温度係数がゼロに近い（湿度の変化の影響を受けない）他の誘電体を使用してみてください。シリコーンオイルや灯油などの液体を誘電体として使用した場合湿度が変化すると、それに応じて誘電率が変化し、誤差が生じます。この誤差は後続の電子回路で補償できますが、完全に除去することは容易ではありません。
可能であれば、センサーに差動対称構造を使用して、温度などのエラーを一部のタイプの電子回路（ブリッジなど）で減らすことができるようにする必要があります。
静電容量センサーの電源周波数として50kHzから数MHzを選択すると、センサーの絶縁部分の絶縁要件を減らすことができます。
センサー内のすべての部品は、組み立てる前に洗浄および乾燥する必要があります。静電容量値の変化や内部の水浸による絶縁劣化を防ぐために、センサーを密閉する必要があります。センサーシェルの剛性は、設置中の変形を避けるために優れています。